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兰州净化工程师带你了解净化车间的温湿度控制

所属分类:公司头条    发布时间: 2022-07-18    作者:利众净化
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       只要说起净化工程人们肯定都会想到这类工程跟别的工程不一样,因为净化本身就有着洁净度非常高,兰州净化工程里的方方面面都会给大家非常清楚的讲关于净化工程的一些问题,因为只有你的知识面非常广泛才会使你的人生非常精彩,下面再有兰州净化工程师给你一些净化车间温湿度的小知识:

兰州净化

       洁净车间的温度和湿度主要是根据工艺要求确定的,但在满足工艺要求的同时,还要考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,对温度和湿度的要求有越来越严格的趋势。

       对温度的具体工艺要求以后会列出来,但作为总的原则,由于加工精度越来越精细,对温度波动范围的要求越来越小。例如,在大规模集成电路生产的光刻工艺中,要求作为掩膜材料的玻璃和硅片的热膨胀系数差异越来越小。直径为100 um的硅片,温度升高1度会线性膨胀0.24um,所以必须保持恒温0.1度。同时湿度值一般较低,因为人出汗后,产品会受到污染,尤其是怕钠的半导体车间。

       洁净车间的温度不能超过25度,湿度过大会产生更多的问题。当相对湿度超过55%时,冷却水管管壁会发生结露,如果发生在精密器件或电路中,会引发各种事故。相对湿度50%时容易生锈。此外,当湿度过高时,附着在硅片表面的灰尘会被空气中的水分子化学吸附在表面,难以去除。相对湿度越高,去除附着越困难,但相对湿度低于30%时,由于静电力的作用,颗粒容易吸附在表面,大量半导体器件容易击穿。硅片生产的.佳湿度范围是35-45%。

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